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    產品展示 / products 您的位置:網站首頁 > 產品展示 > 離子濺射儀 > 小型磁控濺射儀 > JS-600M1600V二極磁控濺射儀

    1600V二極磁控濺射儀

    簡要描述:1600V二極磁控濺射儀采用二極(DC)直流濺射原理設計,帶磁控靶頭,有水冷功能。設備操作簡單方便,適用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導體材料實驗電極的制作。磁控濺射為冷濺射,對樣品表面的升溫較低,適用對溫度較敏感的薄膜樣品。用戶可以根據自己的需要自行選擇不同的真空條件,濺射電流。大尺寸的真空腔體設計,滿足大樣品的濺射需求。最高電壓1600V,保證在較高的真空環境下,維持自持放電。

    • 產品型號:JS-600M
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2024-01-18
    • 訪  問  量:476
    詳情介紹

    一、產品應用:

    JS-600M小型磁控濺射儀采用二極(DC)直流濺射原理設計,帶磁控靶頭,有水冷功能。設備操作簡單方便,適用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導體材料實驗電極的制作。

    磁控濺射為冷濺射,對樣品表面的升溫較低,適用對溫度較敏感的薄膜樣品。用戶可以根據自己的需要自行選擇不同的真空條件,濺射電流。大尺寸的真空腔體設計,滿足大樣品的濺射需求。標配一片金靶,純度為99.999%,為獲得高質量的金膜提供了良好的基礎。

    二、1600V二極磁控濺射儀配置及技術指標:

    1.本系統裝配了水冷卻磁控靶,靶面直徑為50mm;

    2.主機規格:L360mm*W300mm*H380mm;

    3.靶(上部電極):金:直徑:50mm,厚度:0.1mm;

    4.真空樣品室:直徑:160mm,高:110mm;

    5.濺射面積:Ф50mm;

    6.工作真空:2×10-1—6×10-2 mbar;

    7.離子電流表:0-100mA;

    8.定時器:根據濺射習慣設定單次濺射時間;

    9.針閥:配有進氣口,微量充氣調節,可連接φ4*2.5mm軟管;

    10.工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣等多種氣體;

    11.濺射電壓:-1600 DCV;

    12.飛躍真空泵(VRD-4):1.1L/S。

    三、1600V二極磁控濺射儀產品特點:

    1.輕便、濺射面積大;

    2.可以濺射鉑、金及銀等金屬;

    3.濺射效率高,可水冷降溫;

    備注:JS-600M小型磁控濺射儀可適用的靶材:金、鉑、銀。



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